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INSTEC XYZ模塊化高溫探針臺 HCP1000V-MPS 返回列表頁

舉報評價

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品牌Instec/美國

廠商性質(zhì)代理商

所在地廣州市

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更新時間：2025-05-19 16:40:53瀏覽次數(shù)：108次

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產(chǎn)品分類品牌分類

INSTEC 冷熱臺

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別	進(jìn)口	價格區(qū)間	面議
應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,鋼鐵/金屬,汽車及零部件,電氣,綜合

HP1000V-MPS Instec的真空高溫探針臺系列是可從外部移動探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

詳情介紹

特點(diǎn)與優(yōu)勢

mimi型溫控探針臺，可集成到各種光學(xué)設(shè)備
可編程控溫，涵蓋RT~1000℃
適用 10 mm ~25 mm 晶圓和器件
可抽真空的腔體，亦可充入保護(hù)氣體使用
獨(dú)立的四個探針，可從設(shè)備外部移動探針進(jìn)行點(diǎn)針
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK
模塊化設(shè)計，可自由組合

*可升級為8個獨(dú)立探針
*SMA接頭轉(zhuǎn)BNC四探針，手動點(diǎn)針 *可選三同軸接口

溫控參數(shù)

溫度范圍	30℃~1000℃
加熱塊材質(zhì)	陶瓷
傳感器/溫控方式	最大升溫速率 S / PID控制（含LVDC降噪電源）
最大升溫速率	50℃/min
最小溫控速度	±0.1℃/min
溫度分辨率	0.1℃
溫度穩(wěn)定性	±0.5℃
軟件功能	可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

電學(xué)參數(shù)

探針	默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針
探針座	可從外部XYZ移動的探針臂
點(diǎn)針	從外部移動點(diǎn)針，每個探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置
探針接口	默認(rèn)為SMA接頭轉(zhuǎn)BNC *可增設(shè)腔內(nèi)接線柱（樣品接電引線）
樣品臺面電位	默認(rèn)為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

光學(xué)參數(shù)

適用光路	反射光路
窗片	可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離	8/12 mm （可選） *截面圖中WD
上蓋窗片觀察	窗片范圍φ45mm，最大視角±58° *截面圖中θ1
負(fù)溫下窗片除霜	吹氣除霜管路

結(jié)構(gòu)參數(shù)

適用樣品	25 mm*25mm
樣品腔高	4/8 mm （可選）
探針座	可從外部XYZ移動的探針臂粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY粗調(diào)20mm XY微調(diào)行程10mm,Z微調(diào) 3mm
調(diào)節(jié)精度	10um
氣氛控制	真空腔，也可充入保護(hù)氣體
外殼冷卻	可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近
臺體尺寸/重量	300 mm x 300 mm x 40 mm / 5 kg

配置列表

基本配置真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器
可選配件安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、防震桌、真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線

其他可選型號

TP102V-MPS	溫度范圍 -40℃ ~ 180℃，樣品區(qū),40mm*40mm
HCP421V-MPS	溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區(qū)Φ26mm
HCP402V-MPS	溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區(qū) 50mm*50mm
HP1000V-MPS	溫度范圍 35℃ ~ 1000℃，樣品區(qū) 25mm*25mm,真空腔室
定制型號	按客戶需求定制，最大適用300mm晶圓樣品