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廣州領(lǐng)拓儀器科技有限公司
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INSTEC XYZ模塊化變溫探針臺(tái) HCP421V-MPS

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌Instec/美國

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地廣州市

更新時(shí)間:2025-05-19 16:26:59瀏覽次數(shù):128次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,鋼鐵/金屬,汽車及零部件,電氣,綜合
HCP421V-MPS Instec的真空型mini臺(tái)式探針臺(tái)系列是可從外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺(tái),涵蓋多型號(hào)、多溫度范圍。同時(shí)允許溫控、探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔,亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Wo(hù)氣體,來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜,或高溫下氧化。
特點(diǎn)與優(yōu)勢

  • mimi型溫控探針臺(tái),可集成到各種光學(xué)設(shè)備

  • 可編程控溫,涵蓋-190℃~400℃

  • 適用 10 mm ~26 mm 晶圓和器件

  • 可抽真空的腔體,亦可充入保護(hù)氣體使用

  • 獨(dú)立的四個(gè)探針,可從設(shè)備外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針, 

  • 模塊化設(shè)計(jì),可自由組合

*可升級(jí)為8個(gè)獨(dú)立探針
  • 可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK

  • SMA接頭轉(zhuǎn)BNC四探針,手動(dòng)點(diǎn)針 

*可選三同軸接口
*可做定制或改動(dòng)
溫控參數(shù)

溫度范圍
-190℃~400℃(負(fù)溫需配液氮制冷)
加熱塊材質(zhì)
銀 
傳感器/溫控方式
100Ω鉑RTD / PID控制(含LVDC降噪電源)
30℃/min
最小溫控速度±0.01℃/min
溫度分辨率
0.01℃ RTD傳感器
溫度穩(wěn)定性
±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃)
軟件功能
可設(shè)溫控速率,可設(shè)溫控程序,可記錄溫控曲線

電學(xué)參數(shù)

探針
默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針 
探針座 
可從外部XYZ移動(dòng)的探針臂
點(diǎn)針
從外部移動(dòng)點(diǎn)針,每個(gè)探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置
探針接口

默認(rèn)為SMA接頭轉(zhuǎn)BNC

*可增設(shè)腔內(nèi)接線柱(樣品接電引線)

樣品臺(tái)面電位
默認(rèn)為電接地,可選電懸空(作背電極),可選三同軸接口


光學(xué)參數(shù)

適用光路
反射光路
INSTEC XYZ模塊化變溫探針臺(tái) HCP421V-MPS
窗片
可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離
8/12 mm (可選) *截面圖中WD
上蓋窗片觀察
窗片范圍φ45mm,最大視角±50°  *截面圖中θ1
負(fù)溫下窗片除霜
吹氣除霜管路


結(jié)構(gòu)參數(shù)

適用樣品
26 mm直徑 (標(biāo)準(zhǔn))
樣品腔高
4/8 mm (可選)
探針座 

可從外部XYZ移動(dòng)的探針臂

粗調(diào)模式+微調(diào)模式,XY粗調(diào)20mm
XY微調(diào)行程10mm,Z微調(diào) 3mm

調(diào)節(jié)精度10um
氣氛控制
真空腔,也可充入保護(hù)氣體 
外殼冷卻
可通循環(huán)水,以維持外殼溫度在常溫附近
臺(tái)體尺寸/重量
300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg


配置列表

基本配置 真空型臺(tái)式探針臺(tái)、mK2000B溫控器

可選配件 安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、防震桌、真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸BNC、臺(tái)面電懸空、樣品接電引線

其他可選型號(hào)

TP102V-MPS
溫度范圍 -40℃ ~ 180℃,樣品區(qū),40mm*40mm
HCP421V-MPS
溫度范圍 -190℃ ~ 400℃,樣品區(qū) Φ26mm
HCP402V-MPS 
溫度范圍 -190℃ ~ 400℃,樣品區(qū) 50mm*50mm
HP1000G-MPS
溫度范圍 35℃ ~ 1000℃,樣品區(qū) 25mm*25mm,氣密腔室
定制型號(hào)
按客戶需求定制,最大適用300mm晶圓樣品







典型應(yīng)用


  • 表征薄膜、二維材料、納米材料和分子/有機(jī)材料器件的電性能測試

  • 需要加熱塊表面電接地、接同軸BNC接口、三同軸BNC接口的

  • 需要鎢錸探針、鈹銅探針或其他材料的探針的

  • 需要從外部對(duì)臺(tái)體內(nèi)探針進(jìn)行XYZ移動(dòng)的

  • 晶圓、半導(dǎo)體器件、集成電路、印刷電路板、光伏板、LCD/LED測試

  • 測量IV和CV特性、擊穿電壓、漏電流、電阻、介電常數(shù)和二極管效率


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