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一體式/桌面式主動(dòng)隔振平臺(tái)，一體式隔振系統(tǒng)，占用空間小、高集成
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真空主動(dòng)隔振平臺(tái)ZVI-VB系列，可以在真空環(huán)境下使用的主動(dòng)隔振平臺(tái)
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氣浮并聯(lián)負(fù)剛度主動(dòng)隔振平臺(tái)ZVI-FV系列
氣浮并聯(lián)負(fù)剛度主動(dòng)隔振平臺(tái)ZVI-FV系列，由空氣彈簧，磁負(fù)剛度機(jī)構(gòu)
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西格瑪光機(jī)AC伺服電機(jī)自動(dòng)平臺(tái)
SGMV系列自動(dòng)滑臺(tái)Sigmakoki采用伺服電機(jī)，可半閉環(huán)控制，在低到高
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日本Optosigma提供可用于真空腔內(nèi)的小型真空自動(dòng)平臺(tái)，VTAMM60S-20
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西格瑪光機(jī)真空電動(dòng)旋轉(zhuǎn)滑臺(tái)
Optosigma提供真空5項(xiàng)步進(jìn)電機(jī)，采用蝸輪蝸桿驅(qū)動(dòng)的真空電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平
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西格瑪光機(jī)采用自己特別的定位平臺(tái)設(shè)計(jì)技術(shù)和制造技術(shù)所生產(chǎn)的低價(jià)
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氣浮主動(dòng)隔振平臺(tái)ZVI-FT系列，具備六個(gè)自由度調(diào)整、0.8HZ-150HZ高
技術(shù)文章
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