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使用主動隔振平臺的意義有哪些?

來源:上海倍藍(lán)光電科技有限公司   2025年06月19日 09:30  
主動隔振平臺是一種能夠主動識別并抵消外部振動干擾的高科技裝置。

相較于傳統(tǒng)的被動隔振方案,主動隔振平臺具有很大的優(yōu)勢。它不僅能夠有效隔離來自地面或周邊設(shè)備的振動,還能應(yīng)對高頻、低幅等復(fù)雜振動環(huán)境,確保精密設(shè)備在*端條件下也能保持平穩(wěn)運行。此外,該產(chǎn)品還具備智能調(diào)節(jié)功能,可根據(jù)設(shè)備的工作狀態(tài)和外部環(huán)境的變化,自動調(diào)整隔振參數(shù),實現(xiàn)優(yōu)化的振動控制效果。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、精密機(jī)械加工、光學(xué)儀器檢測、生物醫(yī)療實驗等高精密要求的場景中,為設(shè)備的穩(wěn)定運行提供堅實保障。

使用主動隔振平臺的意義有:

1、從<1Hz開始強(qiáng)烈消除地面震動,氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振

2、提高質(zhì)量、生產(chǎn)量

3、更加細(xì)小特色的成像能力

4、前沿研究

5、比氣動平臺更穩(wěn)定

6、滿足SEM標(biāo)準(zhǔn)地點安裝參數(shù)的解決方案

7、使得新實驗室及研究設(shè)備的工程造價更低

特點:

1、寬頻隔振:可在1.0Hz~200Hz范圍內(nèi)有效工作,覆蓋低頻至高頻振動。

2、高精度控制:通過閉環(huán)反饋系統(tǒng)實現(xiàn)毫秒級響應(yīng),振動傳遞率顯著降低。

3、多自由度控制:可消除多個自由度方向的振動,適用于復(fù)雜環(huán)境。

4、穩(wěn)定性與靈活性:具備自動調(diào)節(jié)水平功能,適應(yīng)不同實驗需求。

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