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質(zhì)量流量控制器是測(cè)量流體流量并控制流量的裝置。
它用于需要高級(jí)流量控制的過程現(xiàn)場(chǎng)。質(zhì)量流量是指質(zhì)量流量。流量有兩種類型：體積流量和質(zhì)量流量。質(zhì)量流量傳感器測(cè)量質(zhì)量流量，而不是體積流量。
由于質(zhì)量流量不受流體類型、特性和溫度等環(huán)境條件的影響，因此可以比體積壓力更準(zhǔn)確地測(cè)量和控制流量。
質(zhì)量流量控制器的使用
質(zhì)量流量控制器除了測(cè)量流量之外還可以控制流體。此外，由于它可以實(shí)現(xiàn)高精度和穩(wěn)定的控制，因此可用于各種過程現(xiàn)場(chǎng)和實(shí)驗(yàn)室。在半導(dǎo)體制造工藝中，用于成膜、蝕刻等工序。除半導(dǎo)體外，還使用光纖、液晶和生物技術(shù)等多種產(chǎn)品。在實(shí)驗(yàn)室中，它們還用于控制分析儀器中的載氣。
質(zhì)量流量控制器由傳感器、旁路、流體控制閥和電路組成。熱式流量傳感器通常用作流量傳感器。流體被傳遞到質(zhì)量流量控制器內(nèi)的傳感器和旁路。在傳感器中，流體流經(jīng)的管道周圍纏繞有加熱器，將管道上游和下游兩側(cè)流動(dòng)的氣體之間的溫差轉(zhuǎn)換成電信號(hào)來測(cè)量流量。熱質(zhì)量傳感器對(duì)可發(fā)送到傳感器的流體量有限制。
因此，通過將一部分流量輸送至傳感器，其余流量輸送至旁路，可以保持分流比恒定，從而即使在流量較大時(shí)也可以高精度地控制流量。流體控制閥根據(jù)傳感器測(cè)量的流量來調(diào)節(jié)流量。流體控制閥使用電磁執(zhí)行器、熱執(zhí)行器和壓電執(zhí)行器作為執(zhí)行器（將電信號(hào)轉(zhuǎn)換為物理運(yùn)動(dòng)的裝置） 。
如何選擇質(zhì)量流量控制器
為了選擇質(zhì)量流量控制器，需要考慮氣體類型、最大流量和工作壓力等條件。質(zhì)量流量控制器是根據(jù)所使用的氣體類型來設(shè)置的，因此無(wú)法對(duì)不同的氣體類型進(jìn)行精確測(cè)量。
另外，在腐蝕性氣體的情況下，需要選擇耐腐蝕性高的密封材料。質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍一般為2-100%FS（最大流量），因此需要選擇與所使用的流量相匹配的最大流量。質(zhì)量流量控制器中使用的流量調(diào)節(jié)閥通過閥門開度來調(diào)節(jié)流量，因此一次側(cè)和二次側(cè)之間需要有壓力差。一般以50-300kPa為宜，但壓差太大或太小，都無(wú)法正確調(diào)節(jié)流量。另外，選擇時(shí)可能還需要注意要控制的溫度和接頭。
