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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	價(jià)格區(qū)間	面議
應(yīng)用領(lǐng)域	建材/家具,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合

手動(dòng)臺(tái)階儀 JS10B

• 產(chǎn)品介紹：

澤攸科技JS系列臺(tái)階儀作為國產(chǎn)高精度表面測(cè)量設(shè)備的代表，憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應(yīng)用場(chǎng)景及可靠的測(cè)量性能，可以對(duì)微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和臺(tái)階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量，在高校、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。

JS系列臺(tái)階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，結(jié)合高靈敏度傳感器與信號(hào)處理算法，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點(diǎn)在于超微壓力恒定控制系統(tǒng)，通過精密調(diào)節(jié)探針與樣品間的接觸壓力，既避免了對(duì)軟質(zhì)材料的損傷，又確保了測(cè)量過程的穩(wěn)定性。此外，設(shè)備搭載的攝像頭實(shí)時(shí)成像系統(tǒng)，可同步觀察樣品區(qū)域與探針的位置關(guān)系，輔助用戶精確定位特征結(jié)構(gòu)，顯著提升測(cè)量效率。

作為國產(chǎn)科學(xué)儀器的突破性成果，JS系列臺(tái)階儀打破了國外品牌在表面測(cè)量設(shè)備領(lǐng)域的長期壟斷，憑借高性價(jià)比與本地化服務(wù)優(yōu)勢(shì)，成為國內(nèi)高校、科研機(jī)構(gòu)及制造企業(yè)的優(yōu)選設(shè)備。

• 特點(diǎn)：

量測(cè)精確、操作便捷、體積小巧、高性價(jià)比

• 應(yīng)用范圍：

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測(cè)量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測(cè)量

▲ 各式薄膜等應(yīng)力測(cè)量

• 系統(tǒng)組成

▲ 臺(tái)階儀主機(jī)

▲ 電腦及顯示器

• 選配品

▲ 隔振臺(tái)

▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣

• 技術(shù)參數(shù)

JS10B
樣品	單片（厚度≤10mm）
樣品尺寸	≤150mm
樣品材質(zhì)	硅、鉭酸鋰、玻璃等（不透明，半透明）
重復(fù)性測(cè)量偏差	≤0.5nm（1σ 1um標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次）
最大測(cè)量范圍	80um
垂直分辨率	0.05nm 滿量程
探針加力范圍	0.5~50mg
力控制	恒定
采樣速度	200Hz
掃描方向	左右雙向
掃描最大采集點(diǎn)數(shù)	200萬點(diǎn)
掃描速度	5um/s - 100um/s
樣品臺(tái)運(yùn)動(dòng)方式	可實(shí)現(xiàn)水平（X/Y），旋轉(zhuǎn)（RZ），手動(dòng)控制
XY樣品臺(tái)行程	150mm（快慢速調(diào)節(jié)）
Z樣品臺(tái)行程	10mm
樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái)	±360°
標(biāo)準(zhǔn)探針	曲率半徑≥2um 角度60°（標(biāo)配）
亞微米探	曲率半徑≤1um 角度60°（選配）
軟件功能	臺(tái)階、粗糙度等表面形貌測(cè)量，應(yīng)力測(cè)量