濕法去膠設(shè)備 芯矽科技
參考價 | ¥ 10000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
- 品牌 芯矽科技
- 型號
- 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/6/10 11:45:12
- 訪問次數(shù) 48
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非標定制 | 根據(jù)客戶需求定制 |
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濕法去膠設(shè)備是一種利用化學溶劑或物理方法去除物體表面膠粘劑的工業(yè)設(shè)備,廣泛應(yīng)用于電子、半導體、光伏、橡膠回收等領(lǐng)域。以下是關(guān)于濕法去膠設(shè)備的詳細介紹:
核心功能與原理
去膠原理
化學溶解:通過溶劑(如水、酸堿溶液、有機溶劑NMP等)與膠體的化學反應(yīng),軟化或分解膠層,實現(xiàn)剝離。
物理輔助:結(jié)合超聲波震蕩、高壓噴淋、旋轉(zhuǎn)刷洗或氣泡沖擊等手段,增強去膠效率,尤其適用于頑固膠體或高深寬比結(jié)構(gòu)。
關(guān)鍵組件
溶劑槽:存放去膠液(如TMAH顯影液、NMP、丙二醇等),根據(jù)膠種選擇配方。
旋轉(zhuǎn)刷槽/超聲波模塊:通過機械刷洗或空化效應(yīng)剝離膠體,提升均勻性。
水洗槽:清除殘留溶劑,避免二次污染。
干燥系統(tǒng):采用熱風、真空或IPA脫水等方式快速干燥,防止水漬殘留。
技術(shù)優(yōu)勢與特點
高效性
濕法去膠速度較快,適合批量處理(如半導體晶圓、光伏硅片),單次處理量可達數(shù)十至數(shù)百片。
自動化設(shè)計(如傳送帶、機械臂)減少人工干預(yù),提升產(chǎn)能。
材料兼容性
可處理多種基材(硅片、玻璃、金屬、塑料等),且對基材損傷小。
通過調(diào)整溶劑濃度、溫度(常溫~80℃)和處理時間,適應(yīng)不同膠種(如光刻膠、導電膠、UV膠)。
環(huán)保與安全
部分設(shè)備采用水基溶劑或可回收溶劑(如NMP蒸餾回收),減少有害排放。
封閉式設(shè)計避免溶劑揮發(fā),配合廢液處理系統(tǒng)(中和、過濾)符合環(huán)保要求。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導體與光伏
去除光刻膠(如正膠AZ系列、負膠NR系列),保障后續(xù)刻蝕或沉積工藝良率。
清洗硅片/電池片表面殘留膠體,提升封裝可靠性。
電子封裝
去除芯片、BGA焊點或LED封裝中的環(huán)氧樹脂或?qū)щ娔z殘留,避免短路或光學缺陷。
橡膠回收
粉碎廢舊輪胎、橡膠制品,通過溶劑分離膠粘劑,再生高純度橡膠顆粒。
技術(shù)參數(shù)與選型要點
參數(shù) | 典型規(guī)格 |
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適用基材尺寸 | 50mm×50mm(小芯片)~300mm×300mm(半導體晶圓) |
去膠液類型 | 水基、酸性(H?SO?+H?O?)、堿性(TMAH、KOH)、有機溶劑(NMP、DMSO) |
溫度控制范圍 | 常溫~80℃(PID精準調(diào)節(jié)) |
去膠速率 | >99%(常規(guī)膠體),頑固膠需超聲波或延長浸泡時間 |
干燥后潔凈度 | 表面無可見殘留,顆粒<0.1μm(激光檢測) |
環(huán)保合規(guī)性 | 符合ROHS、REACH標準,支持溶劑回收率>80% |
操作注意事項
溶劑選擇:需匹配膠體類型(如UV膠需酸性配方,光刻膠多用有機溶劑)。
廢液處理:分類收集化學液,避免交叉污染,部分設(shè)備集成在線中和系統(tǒng)。
維護成本:定期清潔噴嘴、更換密封件,防止溶劑結(jié)晶堵塞管道。
濕法去膠設(shè)備通過化學溶解與物理輔助結(jié)合,實現(xiàn)高效、均勻的去膠效果,是精密制造與環(huán)?;厥盏暮诵墓ぞ?。其技術(shù)發(fā)展聚焦于綠色化、智能化與復雜結(jié)構(gòu)適配,未來將持續(xù)推動半導體、光伏及新材料領(lǐng)域的工藝升級。