D500 探針式輪廓儀 D-600
| 參考價(jià) | ￥350000-￥10000000 |
- 公司名稱(chēng) 深圳市今浩儀器設(shè)備有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號(hào)D500
- 所在地成都市
- 廠商性質(zhì)代理商
- 更新時(shí)間2023/4/14 14:10:01
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 371
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,地礦,電子/電池,道路/軌道/船舶,綜合 |
產(chǎn)品描述
探針式輪廓儀 D-600 支持臺(tái)階高度和粗糙度的2D及3D測(cè)量，以及翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。
探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量，與材料特性無(wú)關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測(cè)量。 通過(guò)測(cè)量粗糙度和應(yīng)力，可以對(duì)工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
主要功能
臺(tái)階高度：幾納米至1200μm
低觸力：0.03至15mg
視頻：500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像頭
梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
緊湊尺寸：最小占地面積的臺(tái)式探針式輪廓儀
軟件：用戶(hù)友好的軟件界面
主要應(yīng)用
臺(tái)階高度：2D臺(tái)階高度和3D臺(tái)階高度
紋理：2D粗糙度和波紋度
形式：2D翹曲和形狀
應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
工業(yè)應(yīng)用
大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
SIMS：二次離子質(zhì)譜
LED：發(fā)光二極管
太陽(yáng)能
MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)
汽車(chē)
醫(yī)療設(shè)備
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應(yīng)用
臺(tái)階高度
探針式輪廓儀 D-600 能夠測(cè)量從幾個(gè)納米到1200μm的2D和3D臺(tái)階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低觸力功能，可以測(cè)量如光刻膠的軟性材料。.
紋理：粗糙度和波紋度
Alpha-Step D-600測(cè)量2D和3D紋理，量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過(guò)濾功能將測(cè)量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計(jì)算諸如均方根（RMS）粗糙度之類(lèi)的參數(shù)。
形式：翹曲和形狀
Alpha-Step D-600可以測(cè)量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對(duì)晶圓翹曲的測(cè)量，例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中，多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類(lèi)翹曲產(chǎn)生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。
應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
Alpha-Step D-600能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤(pán)將樣品支撐在中性位置精確測(cè)量樣品翹曲。 然后通過(guò)應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來(lái)計(jì)算應(yīng)力。
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