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能譜掃描電鏡是一種結(jié)合掃描電子顯微鏡與能量散射光譜儀的組合設(shè)備

來(lái)源:蘇州浪聲科學(xué)儀器有限公司   2025年07月01日 17:22  
  能譜掃描電鏡是一種結(jié)合了掃描電子顯微鏡和能量散射光譜儀的綜合顯微分析系統(tǒng)‌。它通過(guò)電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號(hào),實(shí)現(xiàn)樣品的形貌觀察及化學(xué)成分分析‌。
 
  設(shè)備組成與工作原理
 
  掃描電子顯微鏡(SEM):組成:包括電子光學(xué)系統(tǒng)、掃描系統(tǒng)、信號(hào)收集系統(tǒng)、圖像顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)。
 
  工作原理:利用聚焦后的高能電子束掃描樣品表面,通過(guò)電子與樣品原子相互作用產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號(hào)。這些信號(hào)被探測(cè)器捕捉并轉(zhuǎn)換成圖像,揭示樣品的表面形貌和結(jié)構(gòu)信息。
 
  能譜儀(EDS):組成:能量分析器、探測(cè)器等。
 
  工作原理:檢測(cè)電子束與樣品互動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的特征X射線,根據(jù)能量分布差異區(qū)分元素種類,并計(jì)算各元素的相對(duì)含量。EDS可在真空室條件下用電子束轟擊樣品表面,激發(fā)物質(zhì)發(fā)射出特征X射線,實(shí)現(xiàn)樣品表面微區(qū)成分的定性與半定量分析。
 
  ‌SEM部分‌:利用聚焦的高能電子束掃描樣品表面,通過(guò)電子與樣品原子相互作用產(chǎn)生的二次電子、背散射電子等信號(hào),揭示樣品的表面形貌和結(jié)構(gòu)信息‌。
 
  ‌EDS部分‌:在真空室條件下,電子束轟擊樣品表面,激發(fā)出特征X射線。根據(jù)X射線的能量差異,可以定性和半定量分析樣品表面的元素種類和含量。
 
  具體應(yīng)用實(shí)例
 
  ‌微觀形貌觀察及尺寸測(cè)量‌:如斷口顯微形貌觀察、電子產(chǎn)品內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察、表面形貌觀察、鍍層厚度測(cè)量、錫須長(zhǎng)度測(cè)量等‌。
 
  ‌材料微觀結(jié)構(gòu)觀察‌:用于研究材料的微觀結(jié)構(gòu)和成分分布‌。
 
  樣品要求:
 
  樣品需為固態(tài),表面導(dǎo)電性良好,無(wú)磁性或弱磁性,不易潮解且無(wú)揮發(fā)性。樣品尺寸需適中,過(guò)大時(shí)需切割取樣;表面需平整,以滿足定量分析的要求。非導(dǎo)體樣品表面需鍍金或鍍碳處理,以提高導(dǎo)電性。

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