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激光干涉儀API
以 API XD Laser 6D 激光干涉儀為例，從穩(wěn)頻激光器發(fā)出的激光光束經過干涉后，被 6D 傳感器內的分光鏡分成三束。一束光經錐角反射棱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產生干涉條紋，經光學相位探測器識別后進行電子計數，可記錄精確長度位置；第二束光作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內的橫向光電二極管測得；第三束光用作裝在 6D 傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。
要用于機床檢測、校準等領域，可對機床的定位精度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數進行高精度測量和評估，
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