在國際貿(mào)易壁壘加劇的局勢下，卓立漢光作為國產(chǎn)品牌通過持續(xù)技術(shù)攻堅，自主研發(fā)并推出了一款高性能“ZDH系列獨立型氣浮隔振支撐腿”，該產(chǎn)品具有隔振性能較好，穩(wěn)定性優(yōu)異等特點，廣泛應(yīng)用于光學(xué)制造、半導(dǎo)體、激光測試、光電儀器研發(fā)與測試、生物醫(yī)療、精密機械制造等領(lǐng)域。

ZDH系列獨立型氣浮隔振支撐腿

穩(wěn)定 | 可靠 | 隔振

主要特點

ZDH系列獨立型氣浮隔振支撐腿具有以下幾個主要特點：

1. 結(jié)構(gòu)簡單：ZDH系列獨立型氣浮隔振支撐腿采用模塊化設(shè)計，結(jié)構(gòu)簡單、易于維護。同時，平臺的基礎(chǔ)部分、空氣源、氣動隔振元件和支撐調(diào)節(jié)系統(tǒng)等部分均可獨立更換或升級，提高了平臺的可靠性和靈活性。

2. 穩(wěn)定性好：ZDH系列獨立型氣浮隔振支撐腿由于采用了高壓空氣進行支撐和懸浮，具有較高的穩(wěn)定性。即使在惡劣的振動環(huán)境下，平臺也能保持較高的精度和穩(wěn)定性。

3. 隔振效*顯著：ZDH系列獨立型氣浮隔振支撐腿通過降低平臺的固有頻率和振幅，有效隔離了來自地面的振動干擾。同時，搭配寬帶阻尼臺面，進一步提高了隔振效果。

4. 適用范圍廣：ZDH系列獨立型氣浮隔振支撐腿適用于各種需要高精度和穩(wěn)定性的應(yīng)用場景。例如，在光學(xué)制造領(lǐng)域，平臺可用于固定和支撐光學(xué)元件；在激光測試領(lǐng)域，平臺可用于確保激光系統(tǒng)的穩(wěn)定性和精度；在生物醫(yī)療領(lǐng)域，平臺可用于支撐顯微鏡等精密儀器。

技術(shù)參數(shù)

1. 固有頻率：固有頻率是衡量其隔振性能的關(guān)鍵參數(shù)。一般來說，固有頻率越低，隔振帶寬越大。ZDH系列獨立型氣浮隔振支撐腿的固有頻率范圍在垂直和水平方向上均為1.0~2.0Hz，滿足絕大部分場景的使用。

2. 振幅：振幅反映了平臺的振動幅度，是評價隔振效果的重要參數(shù)。通常，振幅越小，平臺的穩(wěn)定性越好，ZDH系列獨立型氣浮隔振支撐腿的振幅一般小于1μm。

3. 調(diào)節(jié)方式：ZDH系列獨立型氣浮隔振支撐腿采用自動定心調(diào)節(jié)方式，確保平臺在調(diào)節(jié)過程中保持水平狀態(tài)。

4. 隔振方式：ZDH系列獨立型氣浮隔振支撐腿隔振方式采用空氣薄膜、三線擺桿、混合氣室結(jié)構(gòu)等，適用于多種的應(yīng)用場景。

5. 阻尼方式：ZDH系列獨立型氣浮隔振支撐腿的阻尼方式包括多小孔阻尼或微米級層流阻尼等，阻尼方式的選擇對平臺的穩(wěn)定性和隔振效果有重要影響。

性能參數(shù)

1. 減振效率：減振效率是衡量平臺隔振效果的重要參數(shù)。一般來說，減振效率越高，平臺的隔振性能越好。ZDH系列獨立型氣浮隔振支撐腿在5Hz和10Hz的振動頻率下，氣浮隔振平臺的垂直減振效率一般可達75%~85%@5Hz，90%~95%@10Hz，水平減振效率可達90%~94%@5Hz，92%~98%@10Hz。

2. 搭配臺面的平面度：平面度反映了平臺臺面的平整度，是評價平臺加工精度的重要指標。一般來說，平面度越小，平臺的加工精度越高，平面度指標可達≤0.05mm/㎡。

3. 搭配臺面的表面粗糙度：表面粗糙度反映了平臺臺面的光滑程度，對光學(xué)元件的固定和穩(wěn)定性有重要影響。一般來說，表面粗糙度越小，平臺的性能越好，表面粗糙度可達<0.8μm。

4. 載荷能力：載荷能力是指平臺能夠承受的最大負載。一般來說，載荷能力越大，平臺的適用范圍越廣。常見的載荷能力指標為300Kg/㎡左右。