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光學(xué)膜厚測量儀的工作原理與優(yōu)勢

來源:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司   2025年02月24日 13:20  
  光學(xué)膜厚測量儀的工作原理與優(yōu)勢分析如下:
  工作原理
  光學(xué)膜厚測量儀的工作原理主要基于光的干涉和反射原理。當(dāng)光源發(fā)出的光波照射到被測膜層時,一部分光波會在膜層表面反射,另一部分光波會穿透膜層并在膜層與基底的界面上反射回來。這兩部分反射光波會在探測器位置發(fā)生干涉,形成干涉圖樣。通過測量干涉圖樣的變化,可以計算出光波的相位差,進而推算出膜層的厚度。具體來說,相位差與膜厚度之間存在一定的數(shù)學(xué)關(guān)系,通過這一關(guān)系可以精確地求出膜層的厚度。
  優(yōu)勢
  高精度:光學(xué)膜厚測量儀采用非接觸式測量方法,避免了機械接觸對膜層的損傷,同時利用光的干涉原理進行高精度測量,測量精度可達納米級別。
  非破壞性:由于采用非接觸式測量,光學(xué)膜厚測量儀不會對被測樣品造成任何損傷,保證了樣品的完整性。
  測量速度快:光學(xué)膜厚測量儀的測量過程非??欤軌蛟诙虝r間內(nèi)完成大量測量任務(wù),提高了工作效率。
  適用范圍廣:光學(xué)膜厚測量儀適用于各種透明或半透明膜層的厚度測量,如光學(xué)鏡片、濾光片、太陽能電池板等,具有廣泛的應(yīng)用前景。
  綜上所述,光學(xué)膜厚測量儀以其高精度、非破壞性、測量速度快和適用范圍廣等優(yōu)勢,在光學(xué)、半導(dǎo)體、新能源等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。

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