fei雙束電子顯微鏡的基本工作原理

來源：賽默飛電子顯微鏡 2024年11月07日 14:44

　　fei雙束電子顯微鏡是一種結合了離子束和掃描電子顯微鏡的先進成像技術。它利用離子束和電子束來對樣品進行成像和加工，具有高分辨率、高靈敏度和高精度的優(yōu)點，廣泛應用于材料科學、生物學、納米技術等領域。

　　fei雙束電子顯微鏡的基本工作原理如下：

　　1、離子束制備樣品表面：離子束主要用于樣品表面的加工和預處理。離子束可以清除樣品表面的氧化層或有機物，裸露出純凈的樣品表面。離子束還可以進行局部蝕刻、切割、沉積等加工操作，為后續(xù)的電子顯微鏡成像提供高質量的樣品表面。

　　2、電子束成像樣品表面：在樣品表面經(jīng)過離子束處理后，電子束開始對樣品進行成像。電子束通過透鏡系統(tǒng)聚焦到樣品表面，掃描整個樣品表面并探測來自樣品的散射電子。這些散射電子被接收器捕獲并轉換成圖像，形成高分辨率的顯微圖像。

　　3、離子束精確加工樣品區(qū)域：在電子束成像的過程中，如果需要對樣品進行進一步加工或處理，離子束可以精確地定位到目標區(qū)域進行局部加工。通過調節(jié)離子束的能量和劑量，可以實現(xiàn)納米尺度的加工、切割、沉積等操作，幫助研究人員深入了解樣品的微觀結構和性質。

　　4、原位觀察和分析：還具有原位觀察和分析的能力，可以在成像的同時進行局部的化學分析、表面形貌觀察等操作。這種能力使得研究人員可以實時監(jiān)測樣品表面的變化，探索材料的微觀結構和性質之間的關系。

　　總的來說，fei雙束電子顯微鏡通過將離子束和電子束結合在一起，實現(xiàn)了對樣品的高分辨率成像和精確加工的功能，為研究人員提供了強大的工具來研究材料、生物樣品等的微觀結構和性質。

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