手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
OxfordRIE反應(yīng)離子刻蝕機PlasmaPro80是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統(tǒng)，可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。它易于放置，便于使用，且能確保工藝性能。直開式設(shè)計可實現(xiàn)快速晶圓裝卸，是研究和小批量生產(chǎn)的理想選擇。它通過優(yōu)化的電極冷卻和出色的襯底溫度控制來實現(xiàn)高質(zhì)量的工藝。
PlasmaPro80是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統(tǒng)，可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。它易于放置，便于使用，且能確保工藝性能。直開式設(shè)計可實現(xiàn)快速晶圓裝卸，是研究和小批量生產(chǎn)的理想選擇。它通過優(yōu)化的電極冷卻和出色的襯底溫度控制來實現(xiàn)高質(zhì)量的工藝。
●直開式設(shè)計允許快速裝卸晶圓
●出色的刻蝕控制和速率測定
●出色的晶圓溫度均勻性
●晶圓最大可達200mm
●購置成本低
●符合半導(dǎo)體行業(yè)S2/S8標準
系統(tǒng)特點
●小型系統(tǒng)——易于安置
●優(yōu)化的電極冷卻系統(tǒng)——襯底溫度控制
●高導(dǎo)通的徑向（軸對稱）抽氣結(jié)構(gòu)——確保能提升工藝均勻性和速率
●增加<500毫秒的數(shù)據(jù)記錄功能——可追溯腔室和工藝條件的歷史記錄
●近距離耦合渦輪泵——抽速高迅速達到所要求的低真空度
●關(guān)鍵部件容易觸及——系統(tǒng)維護變得直接簡單
●X20控制系統(tǒng)——大幅提高了數(shù)據(jù)信息處理能力，并且可以實現(xiàn)更快更可重復(fù)的匹配
●通過前端軟件進行設(shè)備故障診斷——故障診斷速度快
●用干涉法進行激光終點監(jiān)測——在透明材料的反射面上測量刻蝕深度（例如硅上的氧化物），或者用反射法來確定非透明材料（如金屬）的邊界
●用發(fā)射光譜（OES）實現(xiàn)較大樣品或批量工藝的終點監(jiān)測——監(jiān)測刻蝕副產(chǎn)物或反應(yīng)氣體的消耗量的變化，以及用于腔室清洗的終點監(jiān)測
相關(guān)產(chǎn)品
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心