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EBABR 荏原化干式真空泵是荏原公司在真空技術(shù)領(lǐng)域的代表產(chǎn)品，以下是其工作原理和參數(shù)信息的詳細(xì)介紹：
工作原理
- 多級壓縮原理：EBABR 荏原化干式真空泵主要基于多級壓縮的工作原理。泵由多級轉(zhuǎn)子構(gòu)成，每級轉(zhuǎn)子由兩個反向旋轉(zhuǎn)的螺桿轉(zhuǎn)子組成。氣體從吸入口進入泵腔后，在轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)作用下，被不斷壓縮并向排出口方向輸送。隨著氣體在各級泵腔中依次被壓縮，其壓力逐漸升高，最終實現(xiàn)真空環(huán)境的建立和氣體的排出
- 螺桿轉(zhuǎn)子原理：螺桿轉(zhuǎn)子是泵的核心部件，其的設(shè)計使得氣體在泵腔內(nèi)能夠高效地進行壓縮和傳輸。轉(zhuǎn)子之間的精密配合和相互嚙合，確保了氣體在壓縮過程中的密封性和連續(xù)性，從而提高了泵的抽氣效率和真空度。轉(zhuǎn)子的同步旋轉(zhuǎn)通過高精度的齒輪傳動系統(tǒng)實現(xiàn)，保證了運轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性和可靠性
- 溫度控制原理：泵在運行過程中會產(chǎn)生大量的熱量，為了保證泵的性能和延長使用壽命，采用了先進的溫度控制技術(shù)。通過在泵體上設(shè)置冷卻夾套，利用冷卻水的循環(huán)帶走熱量，將泵的溫度控制在設(shè)定范圍內(nèi)。同時，還可以通過調(diào)節(jié)冷卻水的流量和溫度，實現(xiàn)對泵溫的精確控制，以適應(yīng)不同的工藝要求
參數(shù)信息
- 性能參數(shù)：以 EV - X 型為例，其最大處理風(fēng)量為 10,000L/min - 30,000L/min，到達(dá)壓力可達(dá) 0.5Pa在極限壓力下，消耗電力約為 0.9kW - 1.5kW。不同型號可滿足多種工藝需求，如酯化、CVD、灰化、離子植入、外延生長等
- 電源參數(shù)：電源規(guī)格一般為三相 200 - 220V (50/60Hz )，適用于常見的工業(yè)電源環(huán)境，能保證泵的穩(wěn)定運行
- 兼容性參數(shù)：可應(yīng)對腐蝕性氣體，采用標(biāo)準(zhǔn)耐腐蝕性材料制造，如鎳基合金等，具有優(yōu)異的耐化學(xué)腐蝕性能，能適應(yīng)化工、制藥等行業(yè)中具有腐蝕性的氣體環(huán)境不同頻率（50Hz/60Hz）下保持穩(wěn)定性能，可支持 CE 標(biāo)志 / SEMI - S2/NRTL 等標(biāo)準(zhǔn)，具有較高的通用性和國際兼容性
- 物理參數(shù)：設(shè)計結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，節(jié)省了寶貴的廠房空間，便于安裝在各種設(shè)備中或生產(chǎn)線上，尤其適用于空間有限的應(yīng)用場景
產(chǎn)品特征
- 無油運行與清潔性能 ：實現(xiàn)了無油運轉(zhuǎn)，在抽氣過程中不會產(chǎn)生油污染，確保了處理的氣體純凈無油，適用于對清潔度要求高的工藝過程，如半導(dǎo)體制造、食品加工、醫(yī)療等領(lǐng)域。
- 節(jié)能與經(jīng)濟性 ：具有低能耗的特點，搭載了荏原的節(jié)能技術(shù)，如轉(zhuǎn)速自動調(diào)節(jié)功能等，可根據(jù)實際的抽氣需求自動調(diào)整電機轉(zhuǎn)速，降低能源消耗。在不同負(fù)荷條件下都能保持較高的運行效率，有效降低了生產(chǎn)運行成本。
- 耐腐蝕性 ：可耐受腐蝕性氣體，采用標(biāo)準(zhǔn)耐腐蝕性材料制造，如鎳基合金等，具有優(yōu)異的耐化學(xué)腐蝕性能，能適應(yīng)化工、制藥等行業(yè)中具有腐蝕性的氣體環(huán)境，延長了泵的使用壽命。
- 緊湊結(jié)構(gòu)與占地小 ：設(shè)計結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，節(jié)省了寶貴的廠房空間，便于安裝在各種設(shè)備中或生產(chǎn)線上，尤其適用于空間有限的應(yīng)用場景。
- 智能控制與通信功能 ：具備豐富的附加功能，如通信功能等，可實現(xiàn)與上位機或其他設(shè)備的實時數(shù)據(jù)傳輸和遠(yuǎn)程監(jiān)控。通過通信接口，用戶可以方便地獲取泵的運行參數(shù)、故障信息等，并進行遠(yuǎn)程操作和控制。
- 低噪音與高可靠性 ：運行平穩(wěn)，噪音低，采用了先進的隔音技術(shù)和減震措施，降低了泵在運行過程中產(chǎn)生的噪音和振動，為操作人員提供了更加舒適的工作環(huán)境。同時，經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測和可靠性測試，確保了泵在長期運行中的穩(wěn)定性和可靠性。
