15510102388
NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
低噪音、低振動
優(yōu)良的耐腐蝕性
標準零部件采用高硬度并經過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。
選購件
可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。
• 活性氣體（CVD、刻蝕等）。
• 排出非活性氣體（濺射鍍膜、 蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。
• 用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）
• 作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。
• 冷凍干燥等水蒸氣排氣。
技術參數(shù)
外形尺寸圖
抽氣速率曲線
* 1 極限壓力是氮氣（密封氣體）在5.0 SLM時的值。
* 2 無結露。
* 3 用調節(jié)閥所調整的壓力表的值。
* 4 氮氣（密封氣體）流量5.0 SLM是固定值。
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責，化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。
