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潔凈室氮?dú)夤袷且环N用于保護(hù)光敏材料等對(duì)空氣中微小粒子非常敏感的物質(zhì)的設(shè)備。主要通過(guò)向工作區(qū)供應(yīng)高純度氮?dú)?，從而將空氣中的有害微粒和濕氣排除。結(jié)構(gòu)由上、下兩部分組成，上部為氮?dú)獍l(fā)生器，下部為儲(chǔ)存?zhèn)}和過(guò)濾系統(tǒng)。氮?dú)獍l(fā)生器采用電解技術(shù)，將普通空氣中的氧氣和氮?dú)夥蛛x，得到高純度的氮?dú)?，其純度可達(dá)99.99%以上。儲(chǔ)存?zhèn)}內(nèi)裝有氮?dú)鈨?chǔ)罐，過(guò)濾系統(tǒng)則包括粗濾、精濾和活性炭吸附三個(gè)部分，以去除殘留的雜質(zhì)和異味。