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技術(shù)文章

測量顯微鏡(MM214V & MM214D Series)

閱讀:130          發(fā)布時(shí)間:2024-11-19

MM214 是 Holmarc 新推出的一系列創(chuàng)新型測量顯微鏡,專為工業(yè)和科學(xué)測量而設(shè)計(jì)。這些顯微鏡旨在提供最高的測量精度。它可用于測量和檢查微型部件和試樣,因?yàn)檫@些部件和試樣太小,如果沒有顯微鏡的幫助就無法測量。該儀器可以測量半導(dǎo)體、小型電子和電氣元件、生物標(biāo)本、微電子機(jī)械系統(tǒng) (MEM)、微型加工件、微型模制件等。該顯微鏡具有長工作距離物鏡、裝有參考十字線的目鏡、精密 XY 測量平臺(tái)、裝在 X、Y 和 Z 平臺(tái)上的光學(xué)線性刻度、數(shù)字讀出(DRO)和物體照明系統(tǒng)。該儀器可以說是生命科學(xué)或物理科學(xué)實(shí)驗(yàn)室處理微型元件、部件和標(biāo)本的工具。


                                                                                                規(guī)格

型號(hào) : HO-MM214V-50X*價(jià)格 ($) : 7,167.00

有效放大倍率: 50 X (最高可達(dá) 1000 X)

視野:雙目

工作距離:34 毫米

工作喉徑: 100 毫米

物鏡設(shè)計(jì) PLAN APO Infinity LW 物鏡

工作臺(tái):XYZ 高精度工作臺(tái)

行程 (X, Y & Z) 100 x 200 x 100 毫米

DRO: XYZ 坐標(biāo)數(shù)據(jù)

分辨率:0 .00005 英寸 / 0.001 毫米

Z 軸單通道 DRO 0.001 毫米分辨率

照明:可變 高亮度 LED 角度、底部和同軸照明

型號(hào):HO-MM214D-50X*價(jià)格(美元):8,250.00

三目模式

此型號(hào)提供 C 卡口相機(jī)適配器

所有其他規(guī)格與型號(hào):MM214V 相同

* 放大倍率


X、Y 和 Z 平臺(tái)

所有三個(gè)線性平臺(tái)都配有精密滾動(dòng)接觸軸承,以確保測量的直線精度和重復(fù)性。平臺(tái)配有分辨率為 1 微米的光學(xué)編碼器。

XY 平臺(tái)采用導(dǎo)螺桿驅(qū)動(dòng),可通過手動(dòng)旋鈕進(jìn)行精細(xì)和超精細(xì)移動(dòng)。這兩個(gè)平臺(tái)都有離合器裝置,可將導(dǎo)軌從平臺(tái)上分離,以便快速定位。平臺(tái)頂部裝有玻璃,用于底部照明。X 平臺(tái)的行程為 200 毫米,Y 平臺(tái)的行程為 150 毫米。Z 平臺(tái)通過兩側(cè)的手動(dòng)旋鈕和右側(cè)的微調(diào)機(jī)構(gòu)由齒輪齒條驅(qū)動(dòng)。光學(xué)頭安裝在 Z 平臺(tái)上。通過在感興趣的點(diǎn)上重復(fù)聚焦,可以進(jìn)行垂直測量。


物體照明

有三種照明方式可供選擇: 同軸照明、底部照明和傾斜照明。在所有這些情況下,都使用高亮度 LED 作為光源,以實(shí)現(xiàn)長壽命和低溫照明。

數(shù)字讀數(shù)

垂直柱上安裝了分辨率為 1 微米的數(shù)字讀數(shù)器,位于符合人體工程學(xué)的視線位置。讀數(shù)器配有大型 LED 顯示屏和各種可編程功能,如誤差補(bǔ)償、校準(zhǔn)等。

                                                                                                 功能

 快速準(zhǔn)確的非接觸式光學(xué)測量

 長工作距離物鏡,放大倍率高達(dá) 100 倍

 數(shù)字 1 微米讀數(shù)

 目鏡架上的刻度可通過旋轉(zhuǎn)目鏡進(jìn)行角度測量。

 用于長行程測量的快速釋放系統(tǒng)

 數(shù)字?jǐn)z像頭(可選)

 LED HB 照明光源

 亮場觀測

 無限校正光學(xué)系統(tǒng)

 偏振觀測(可選)

 可選電動(dòng)控制裝置

 可調(diào)節(jié)照明強(qiáng)度,以獲得、最合適的照明。

 XY 測量平臺(tái)范圍可達(dá) 400 × 200 毫米




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