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TEM氣體電-熱樣品臺(tái)是如何測(cè)量樣品的？

閱讀：1426 發(fā)布時(shí)間：2022-9-8

　　樣品臺(tái)裝配體包括臺(tái)階主體和凹形板兩部分。其特征在于：臺(tái)階主體呈三層臺(tái)階形狀；每一層表面都有不等數(shù)量的針孔；臺(tái)階主體兩邊加工有圓弧曲面；周身加工有孔；底部加工有燕尾槽。凹形板呈兩邊凸起中間凹下形狀；兩邊凸起處有針腳孔和螺紋沉孔；凹形板周身加工有孔。

　　TEM氣體電-熱樣品臺(tái)可用于電鏡樣品在不同的高溫條件下的結(jié)構(gòu)表征。該產(chǎn)品通過電場(chǎng)控制器對(duì)樣品施加偏壓，配合電學(xué)系統(tǒng)控制程序保證微反應(yīng)系統(tǒng)穩(wěn)定可靠運(yùn)行及實(shí)時(shí)測(cè)量，該控制程序非常適合各種電子器件的電流、電壓特性分析和功能測(cè)試，如：功率半導(dǎo)體材料、功率器件、能源生產(chǎn)、高效能源消耗等。

　　TEM氣體電-熱樣品臺(tái)是在原位樣品臺(tái)內(nèi)部構(gòu)建小型的氣氛納米實(shí)驗(yàn)室，在氣體環(huán)境內(nèi)對(duì)材料進(jìn)行原子分辨高時(shí)空精度分析。而且可以根據(jù)客戶需求結(jié)合 MEMS微加工工藝內(nèi)置加熱模塊、光學(xué)模塊和偏壓模塊，通過微納芯片對(duì)單個(gè)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行外場(chǎng)控制進(jìn)行熱學(xué)、光學(xué)及電學(xué)性質(zhì)的測(cè)量。并可在物性測(cè)量的同時(shí)，動(dòng)態(tài)、高分辨地對(duì)樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征。具有高精度、高頻控溫模式。

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