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普通掃描電鏡是一種利用電子進(jìn)行成像的顯微鏡
普通掃描電鏡是一種利用電子進(jìn)行成像的顯微鏡，由英文ScanningElectron Microscope直譯得名，簡稱為掃描電鏡。由于電子的德布羅意波長遠(yuǎn)小于可見光的波長，掃描電鏡具有比光學(xué)顯微鏡高得多圖像分辨率，使我們擁有在亞原子尺度上觀察微觀世界的能力。
掃描電鏡噴金幾乎可以對(duì)所有類型的樣本進(jìn)行圖像處理，陶瓷、金屬、合金、半導(dǎo)體、聚合物、生物樣品等。然而，某些特定類型的樣品更具有挑戰(zhàn)性，并且需要操作者進(jìn)行額外的樣品制備，以便借助掃描電鏡噴金收集高質(zhì)量圖片。這些額外的步驟包括在樣品中表面濺射一個(gè)額外的導(dǎo)電薄層材料，如金、銀、鉑或鉻等。掃描電鏡噴金中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。
普通掃描電鏡由三大部分組成：真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。
?。?） 真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器，真空泵用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。
?。?） 電子束系統(tǒng)
電子束系統(tǒng)由電子槍和電磁透鏡兩部分組成，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成像。
?。?） 成像系統(tǒng)
電子經(jīng)過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì)產(chǎn)生次級(jí)電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線等一系列信號(hào)，然后通過不同的檢測器來區(qū)分這些信號(hào)以獲取所需要的信息。
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