維修英國Pura 露點(diǎn)測試儀

 

在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測量露點(diǎn)值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。

產(chǎn)品亮點(diǎn)

測量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV)

測量穩(wěn)定，重復(fù)性好

高度集成的采樣裝置

模擬和數(shù)字輸出

安裝簡便

VCR 過程接口

設(shè)計(jì)緊湊小巧

顯示/報(bào)警單元可選

技術(shù)參數(shù)

 

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