激光干涉儀是一種利用波（通常是光波、無(wú)線電波或聲波）干涉現(xiàn)象的測(cè)量?jī)x器，測(cè)量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。也被用來(lái)描述使用光波研究位移變化的技術(shù)。這種位移測(cè)量干涉法廣泛應(yīng)用于精密加工中的標(biāo)定和機(jī)械級(jí)運(yùn)動(dòng)控制。
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。
若光程差沒(méi)有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。
激光干涉儀是以波長(zhǎng)為基本計(jì)量單位的，多波長(zhǎng)激光器的發(fā)展，是實(shí)現(xiàn)不同長(zhǎng)度“尺子”的基礎(chǔ)。激光器可以穩(wěn)定地輸出多種波長(zhǎng)的激光，利用光學(xué)拍波技術(shù)，可以將這些單波長(zhǎng)合成為一組波長(zhǎng)相近、間隔均勻的“合成波長(zhǎng)鏈”。“合成波長(zhǎng)鏈”是一個(gè)塔形結(jié)構(gòu)，塔頂是高一級(jí)合成波，其波長(zhǎng)長(zhǎng)，塔底則是單波長(zhǎng)。測(cè)量時(shí)，干涉儀以不同波長(zhǎng)的激光工作，從長(zhǎng)波開(kāi)始，逐級(jí)下降，直至單波長(zhǎng)。的測(cè)量結(jié)果是在各種波長(zhǎng)干涉下的一組剩余相位，以此可推導(dǎo)出總測(cè)量長(zhǎng)度，由于每次的測(cè)量值都是剩余相位，與測(cè)量過(guò)程無(wú)關(guān)，儀器因此不需要導(dǎo)向?qū)к墶?/div>
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