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大氣壓力傳感器的應(yīng)用及原理

2023-3-22　閱讀(1397)

大氣壓力傳感器除被廣泛應(yīng)用在氣象監(jiān)測中外，還被應(yīng)用在很多方面：如將其安裝在無人機上，可以通過無人機的周圍氣壓與遙控器氣壓的對比，從而得知無人機和控制人員的高度差，幫助無人機更好的進行著陸；將其應(yīng)用在智能手機、智能手表，智能手環(huán)等消費電子產(chǎn)品中可發(fā)揮更多的作用，還用來測量準(zhǔn)確的高度位置、改善室內(nèi)導(dǎo)航，熱量計算以及許多其它的應(yīng)用。

大氣壓力傳感器與半導(dǎo)體壓敏電阻壓力傳感器的制作原理類似，也是采用集成電路與微加工技術(shù)，在一塊半導(dǎo)體基片（硅片）上形成壓力傳感器、溫度補償電路和放大電路。
在硅片的中間，從反面經(jīng)異向腐蝕形成了一個正方形的膜片（利用膜片將壓力變換成應(yīng)力），在膜片的表面，通過擴散雜質(zhì)形成4個P型的測量電阻，以惠斯頓電橋方式連接，利用膜片的壓阻效應(yīng)（將加在膜片上的壓力變換成電阻的變化），在兩個輸出端子之間輸出一定的電位差。

膜片的里面與硅杯之間設(shè)計成真空腔，用于緩和外部的應(yīng)力，并以此真空腔的壓力為基準(zhǔn)來測量大氣壓力。

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