半導(dǎo)體制造涉及清洗、蝕刻、光刻等多道工藝，其中含氯化學(xué)品（如三氯化硼、四氯化硅）的使用廣泛。這些工藝過程中，若氯氣（Cl?）未反應(yīng)或發(fā)生泄漏，將直接危害人員健康與設(shè)備安全。根據(jù)《GBZ 2.1-2019 工作場所有害因素職業(yè)接觸限值》，氯氣的8小時(shí)加權(quán)平均容許濃度（TWA）僅為0.5ppm，短時(shí)間接觸容許濃度（STEL）為1ppm；當(dāng)濃度超過10ppm時(shí)，30分鐘暴露即可致命[2]。此外，氯氣若未有效處理直接排放，還會腐蝕設(shè)備、污染大氣，違反環(huán)保法規(guī)。因此，對氯氣的實(shí)時(shí)監(jiān)測與精準(zhǔn)管控，是半導(dǎo)體企業(yè)安全生產(chǎn)與環(huán)保達(dá)標(biāo)的核心需求。
針對半導(dǎo)體行業(yè)高濕、微腐蝕、需24小時(shí)連續(xù)監(jiān)測的復(fù)雜環(huán)境，深國安電子推出了SGA-500系列、SGA-501系列等多款氯氣檢測儀，從硬件到功能均進(jìn)行了專項(xiàng)優(yōu)化[?]：
防爆抗腐，適應(yīng)嚴(yán)苛環(huán)境：設(shè)備采用工業(yè)級鋁合金防爆外殼（防爆等級ExdⅡCT6 Gb），搭配IP67防護(hù)設(shè)計(jì)與納米涂層技術(shù)，可抵御酸霧、水汽的侵蝕；針對半導(dǎo)體車間可能存在的高溫環(huán)境（如800℃工藝段），還可選配專用高溫探桿，確保穩(wěn)定運(yùn)行[?]。
高精度檢測，數(shù)據(jù)可靠：內(nèi)置國外進(jìn)口電化學(xué)傳感器，配合32位納米級微處理器與24位超高ADC采集芯片，支持ppb級精度檢測；全量程溫濕度補(bǔ)償功能，避免環(huán)境溫濕度波動(dòng)對數(shù)據(jù)的干擾，保障長期監(jiān)測的穩(wěn)定性[2]。
智能聯(lián)動(dòng)，風(fēng)險(xiǎn)快速處置：設(shè)備支持4-20mA、RS485等多種信號輸出，兼容90%以上PLC、DCS等上位機(jī)系統(tǒng)；內(nèi)置2組無源觸點(diǎn)繼電器，當(dāng)氯氣濃度超標(biāo)（如超過0.5ppm TWA）時(shí)，可自動(dòng)聯(lián)動(dòng)風(fēng)機(jī)、噴淋系統(tǒng)或切斷閥，實(shí)現(xiàn)“檢測-報(bào)警-處置"閉環(huán)，將泄漏風(fēng)險(xiǎn)控制在萌芽狀態(tài)[?]。
遠(yuǎn)程管理，提升運(yùn)維效率：通過GPRS、WIFI等無線傳輸技術(shù)，監(jiān)測數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)上傳至深國安物聯(lián)網(wǎng)平臺，管理人員通過手機(jī)APP或電腦即可遠(yuǎn)程查看濃度曲線、歷史記錄及報(bào)警信息；設(shè)備還具備智能校準(zhǔn)提醒、傳感器壽命預(yù)警等功能，減少人工巡檢成本
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