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光柵光譜儀的簡(jiǎn)述及參數(shù)

光柵分為刻劃光柵、復(fù)制光柵、全息光柵等?？虅澒鈻攀怯勉@石刻刀在涂薄金屬表面機(jī)械刻劃而成；復(fù)制光柵是用母光柵復(fù)制而成。典型刻劃光柵和復(fù)制光柵的刻槽是三角形。全息光柵是由激光干涉條紋光刻而成。全息光柵通常包括正弦刻槽。刻劃光柵具有衍射效率高的特點(diǎn)，全息光柵光譜范圍廣，雜散光低，且可作到高光譜分辨率。

光柵光譜儀的參數(shù)

色散

光柵光譜儀的色散決定其分開(kāi)波長(zhǎng)的能力。光譜儀的倒線(xiàn)色散可計(jì)算得到：沿單色儀的焦平面改變距離χ引起波長(zhǎng)λ的變化，即：

Δλ/Δχ=dcosβ/mF

這里d、β、F分別是光柵刻槽的間距、衍射角和系統(tǒng)的有效焦距，m為衍射級(jí)次。由方程可見(jiàn)，倒線(xiàn)色散不是常數(shù)，它隨波長(zhǎng)變化。在所用波長(zhǎng)范圍內(nèi)，變化可能超過(guò)2倍。根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，在本樣本中，用1200l/mm光柵色散的中間值（典型的為435.8nm）時(shí)的倒線(xiàn)色散。

帶寬

帶寬是忽略光學(xué)像差、衍射、掃描方法、探測(cè)器像素寬度、狹縫高度和照明均勻性等，在給定波長(zhǎng)，從光譜儀輸出的波長(zhǎng)寬度。它是倒線(xiàn)色散和狹縫寬度的乘積。例如，單色儀狹縫為0.2mm，光柵倒線(xiàn)色散為2.7nm/mm，則帶寬為2.7×0.2=0.54nm。

波長(zhǎng)精度

波長(zhǎng)精度是光譜儀確定波長(zhǎng)的刻度等級(jí)，單位為nm。通常，波長(zhǎng)精度隨波長(zhǎng)變化。

波長(zhǎng)重復(fù)性

波長(zhǎng)重復(fù)性是光譜儀返回原波長(zhǎng)的能力。這體現(xiàn)了波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)機(jī)械和整個(gè)儀器的穩(wěn)定性。卓立漢光的光譜儀的波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)和機(jī)械穩(wěn)定性，其重復(fù)性超過(guò)了波長(zhǎng)精度。

波長(zhǎng)準(zhǔn)確度

波長(zhǎng)準(zhǔn)確度是光譜儀設(shè)定波長(zhǎng)與實(shí)際波長(zhǎng)的差值。每臺(tái)單色儀都要在很多波長(zhǎng)檢查波長(zhǎng)準(zhǔn)確度。

F/#

F/#定義為光譜儀焦距與準(zhǔn)直凹面反射鏡的直徑的比值。光通過(guò)效率與F/#的平方成反比，F(xiàn)/#愈小，光通過(guò)率愈高。