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青島盛瀚色譜技術(shù)有限公司

半導體解決方案 | 閥切換離子色譜法測定電子級雙氧水中微量陰離子含量

時間:2024-10-31 閱讀:934
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電子級雙氧水是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝中所必須的電子化學原料,被廣泛應用于半導體、超大集成電路裝配和加工過程中的清洗和腐蝕等方面。半導體硅材料純度較高,但在加工過程中,因各種原因會留下污染物,這些污染物如果不及時清理,就容易影響性能、精準度,甚至報廢。電子級雙氧水對品質(zhì)要求、產(chǎn)品精度等要求都較高,通過閥切換離子色譜法可測定雙氧水中Cl-、SO42-、NO3-、PO43-等微量陰離子含量。


 

實驗設(shè)備

 

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閥切換技術(shù)


閥切換技術(shù)是離子色譜中常用的在線技術(shù),主要用于基體的消除。一般是通過切換不同類型固定相的色譜柱,利用固定相選擇性的差異富集待測離子,消除基體的干擾;或者是在固定相類型相同的色譜柱之間進行切換。


 

實驗數(shù)據(jù)

 

 

標準譜圖

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盛瀚閥切換技術(shù)可實現(xiàn)Cl-、SO42-、NO3-、PO43-的分離與檢測

 

 

線性譜圖

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以氯離子為例,標準曲線R值為0.999948,線性良好,儀器測試穩(wěn)定性高

 

樣品譜圖

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本方案根據(jù)樣品性質(zhì)進行檢測,使用盛瀚CIC-D300+雙通道離子色譜,通過閥切換系統(tǒng)去除基體干擾后,待測離子進入離子色譜進行分析,采用抑制電導檢測。從測試結(jié)果可以看出待測離子峰型良好,目標峰的響應信號明顯,目標峰的分離度及檢出限均滿足標準要求,采用該方案可以對雙氧水中陰離子進行準確的定性定量分析。

 

 


 

盛瀚專業(yè)離子色譜方案專家,半導體行業(yè)解決方案將定期更新半導體材料、制造工藝、電路板雜質(zhì)等方面的檢測。

 

 

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盛瀚IC+場景化解決方案,將覆蓋食品、環(huán)境、水質(zhì)、醫(yī)藥等127個領(lǐng)域,為各行各業(yè)提供全面、精準、高效解決方案,助推行業(yè)快速發(fā)展!

 



 

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