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Series 2000 旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號 Series 2000
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/7/1 16:41:50
  • 訪問次數(shù) 28

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那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機(jī)構(gòu)提供高性能、高性價(jià)比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機(jī)等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時(shí)間的質(zhì)譜儀,包含飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)(PTR)質(zhì)譜儀、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機(jī),PA-MOCVD,飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備,采用旋轉(zhuǎn)滾筒設(shè)計(jì),專用于實(shí)現(xiàn)聚對二甲苯的均勻涂布。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,集成內(nèi)置泵與冷卻裝置,適用于處理尺寸較小的基材。


Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè),包括航天航空、半導(dǎo)體、新能源、軍工、汽車、手機(jī)、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域。通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。


旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備

PPS 提供多樣化的定制化實(shí)驗(yàn)室涂布設(shè)備,配備多種可選裝置與附加組件,旨在確保涂層工藝的成功實(shí)施、表面潔凈度以及涂層的均勻性和平滑性。我們的絕大多數(shù)系統(tǒng)均具備以下功能配置
   - 可定制腔體尺寸
   - 支持選配等離子體源
   - 配備冷卻系統(tǒng)及集成泵系統(tǒng)


旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備Series 2000

尺寸
L:2600mm  W:960mm  H:1460mm
重量
200kg
腔體容量
80L
工藝腔體400mm ? ,H: 600mm
氣路1 路氣體通道(內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)),最多可擴(kuò)展至 3 路氣體通道。
冷卻系統(tǒng)
4L(機(jī)電式冷阱)
真空連接
DIN 40 ISO-KF
排氣
電磁式排氣閥
真空泵
抽速50m3/h
電氣連接三相五線制,交流 50 Hz,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW


我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)型機(jī)型,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機(jī)型。同時(shí),我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,實(shí)現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M(jìn)行表面化處理,從而提高薄膜的粘附性。另外,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計(jì),在小占地面積下提供高性能技術(shù),節(jié)約大量的超凈間占地空間。


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