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3D光學(xué)輪廓儀MTMI100

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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江蘇集萃中科旨在光學(xué)組件、光學(xué)儀器、智能光電感知三大方向,開展系列關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)與產(chǎn)業(yè)化實(shí)踐,目前已形成3D光學(xué)輪廓儀、白光干涉儀、反射膜厚儀、光致發(fā)光、無損檢測(cè)儀、光譜橢偏儀等標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品。公司服務(wù)涵蓋光學(xué)儀器的研發(fā)、生產(chǎn)及制造一站式服務(wù),同時(shí)為客戶提供基于智能光電感知的智慧工廠整體解決方案。




白光干涉儀、光學(xué)輪廓儀、粗糙度儀、光學(xué)膜厚儀、光譜橢偏儀等光學(xué)產(chǎn)品。

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 產(chǎn)品種類 接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

產(chǎn)品描述

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。廣泛應(yīng)用于光學(xué)制造、材料科學(xué)、機(jī)械制造和電子工業(yè)等領(lǐng)域,為用戶提供準(zhǔn)確的表面形貌測(cè)量解決方案。


3D光學(xué)輪廓儀MTMI100功能:

高精度微觀表面測(cè)量

提供高分辨率的表面形貌測(cè)量,精度達(dá)到亞微米級(jí),適用于精密 加工領(lǐng)域。

無接觸式測(cè)量

采用非接觸式測(cè)量技術(shù),避免了因接觸式測(cè)量可能產(chǎn)生的表面損傷或應(yīng)力,適用于脆弱材料。

快速測(cè)量與數(shù)據(jù)處理

提供高速度的數(shù)據(jù)采集和處理,能夠在短時(shí)間內(nèi)獲取大量表面信息,提高生產(chǎn)效率。

大面積掃描能力

支持大面積拼接掃描,適用于需要大范圍表面分析的工業(yè)應(yīng)用。

高度可定制化

提供靈活的軟件配置和硬件選項(xiàng),能夠根據(jù)客戶的具體需求進(jìn)行定制。

多種分析模式

提供豐富的表面分析功能,如輪廓分析、粗糙度分析等,滿足不同應(yīng)用需求。


3D光學(xué)輪廓儀MTMI100特點(diǎn)

1.通過工作原理圖展示白光干涉儀如何利用光干涉技術(shù)進(jìn)行高精度測(cè)量,闡述其無接觸、非破壞性特點(diǎn)。

2.展示用戶友好的軟件界面,突出其易操作、自動(dòng)化處理和數(shù)據(jù)可視化的特點(diǎn)。

3.顯示儀器的實(shí)際應(yīng)用,例如在半導(dǎo)體、精密制造等領(lǐng)域中的應(yīng)用案例,突出其應(yīng)用的廣泛性。

4.展示儀器測(cè)量后生成的各種分析結(jié)果,如表面粗糙度、形貌輪廓圖等,通過圖表和數(shù)據(jù)展示其分析功能和數(shù)據(jù)的直觀性。


三視圖

  • 3D光學(xué)輪廓儀MTMI100

    正視圖

  • 3D光學(xué)輪廓儀MTMI100

    側(cè)視圖

  • 3D光學(xué)輪廓儀MTMI100

    后視圖

  • 3D光學(xué)輪廓儀MTMI100

    正視圖

  • 3D光學(xué)輪廓儀MTMI100

    側(cè)視圖

  • 3D光學(xué)輪廓儀MTMI100

    后視圖


技術(shù)參數(shù)

掃描范圍

15mm


掃描速度

10μm/s


干涉物鏡

標(biāo)配:10x 選配:2.5x、5x、20x、50x、100x


轉(zhuǎn)塔

手動(dòng)


標(biāo)準(zhǔn)視場(chǎng)

1mm×1mm(10×物鏡+0.5×成像模組)


XY位移臺(tái)

尺寸

300*300mm

移動(dòng)范圍

100*100mm

負(fù)載

10kg

控制方式

電動(dòng)/手動(dòng)

調(diào)節(jié)角度

±5°

Z軸聚焦

聚焦方式

自動(dòng)/手動(dòng)

行程

30mm

控制方式

電動(dòng)

粗糙度 RMS 重復(fù)性*

0.005nm


臺(tái)階測(cè)量重復(fù)性

0.1%(1σ)


檢測(cè)案例:

  • 3D光學(xué)輪廓儀MTMI100

    16線光柵檢測(cè)


  • 3D光學(xué)輪廓儀MTMI100

    90nm臺(tái)階塊檢測(cè)


  • 3D光學(xué)輪廓儀MTMI100

    硅片檢測(cè)


  • 3D光學(xué)輪廓儀MTMI100

    鏡片檢測(cè)



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