德國(guó)Bruker布魯克臺(tái)階儀

集40多年的探針輪廓技術(shù)創(chuàng)新于一身，該系統(tǒng)在行業(yè)內(nèi)的表現(xiàn)，以重現(xiàn)性和標(biāo)準(zhǔn)掃描范圍而著稱(chēng)。它提供各種各樣的配置和附加選項(xiàng)，用于程序化測(cè)量、低探針力表征和細(xì)節(jié)分析

臺(tái)階儀Dektak 150 表面輪廓儀（探針式）
規(guī)格：
測(cè)試技術(shù)：探針輪廓技術(shù)
測(cè)試功能：二維表面輪廓測(cè)試
樣品視場(chǎng)：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）
探針壓力：使用LIS 3傳感器：1至15 mg
使用N-lite傳感器：0.03至15 mg
探針選項(xiàng)：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;
高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺(tái)：手動(dòng)X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn)，可手動(dòng)校平；
可選Y自動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)，100 mm行程，1um重現(xiàn)性，0.5 um分辨率；
可選X-Y自動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)，150 mm行程；
1um重現(xiàn)率，0.5 um 分辨率
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)：主機(jī)使用celeron或者semprom處理器
軟件：Dektak軟件
臺(tái)階檢測(cè)軟件
可選應(yīng)力測(cè)量軟件
可選三維Vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動(dòng)隔離裝置
可選臺(tái)式震動(dòng)隔離裝置
性能
掃描長(zhǎng)度范圍 55mm(2.1英寸)
每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)多12萬(wàn)數(shù)據(jù)點(diǎn)
樣品厚度高達(dá)90 mm (4英寸)，取決于配置
晶圓尺寸 150 mm(6英寸)
臺(tái)階高度重現(xiàn)性 6埃
垂直范圍：標(biāo)準(zhǔn)524um(0.02英寸)；可選1mm
垂直分辨率：大1A（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

無(wú)論是用于科學(xué)研究還是工業(yè)生產(chǎn)，Dektak 150探針式表面輪廓儀都具有業(yè)內(nèi)好的表現(xiàn)性能，高的測(cè)量重復(fù)性以及大的掃描范圍。Dektak 150集四十多年的技術(shù)積累和創(chuàng)新于一身，為滿(mǎn)足用戶(hù)不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置。堅(jiān)固的鋁質(zhì)材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對(duì)測(cè)量的干擾?；赪indows®XP的軟件用戶(hù)界面，使用戶(hù)迅速掌握Dektak 150。分析功能齊全，界面直觀，包括從簡(jiǎn)便的一鍵"進(jìn)針即測(cè)量"，到多次掃描結(jié)果的自動(dòng)分析。通過(guò)選配三維成像附件套裝還可以極大地?cái)U(kuò)充儀器的功能。

詳細(xì)技術(shù)要求及參數(shù)：
• 測(cè)量重復(fù)性 6?，1δ (10000 ? 標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階)。
Step height repeatability6 Angstroms, 1 sigma (1,0000 angstrom step).
• 大掃描長(zhǎng)度 55mm，用于測(cè)量彎曲度和波度。
Maximum scan length = 55mm, for measuring curvature and waviness.
• 配有快速更換探針附件。
Quick-change stylus removal with stylus coupled to the sensor head magnetically using
kinematic mounts and special stylus removal fixture.
• 低噪音線(xiàn)性 LVDT 傳感器，保證 Z 軸方向高分辨率測(cè)量。
Linear LVDT sensor for low noise, high resolution Z-axis measurements
• 電磁探針壓力調(diào)整系統(tǒng)，不管探針在何垂直位置都可保證探針壓力不變。
Electromagnetic stylus force adjustment mechanism to ensure stylus force is constant
irrespective of the vertical position of the stylus.

線(xiàn)性?huà)呙琛诰_光學(xué)平面的樣品臺(tái)——提供了*的基線(xiàn)穩(wěn)定性，消除了幾何測(cè)量誤差。
Linear scan method – precision scan stage with optically flat reference – provides
excellent baseline stability, free of geometric measurement errors.
& 精確 6 英寸樣品臺(tái)（X-Y-Theta 手動(dòng)定位）
Precision 6” sample stage with manual X-Y-Theta position adjustment
& 臺(tái)階檢測(cè)功能，可自動(dòng)測(cè)試多重臺(tái)階。
Step Detection feature for automatically measuring multiple steps
&彩色攝影鏡頭（放大倍數(shù) 166x 并配有視頻圖象自動(dòng)捕捉功能），為報(bào)告和演講提供豐富的圖形數(shù)據(jù)。
Color video camera standard with 166x zoom magnification with video image capture
feature for use in reports and presentations.
&視頻觀測(cè)功能使探針在整個(gè)掃描過(guò)程中均處在觀察中，保證了掃描數(shù)據(jù)和視頻圖象的相互關(guān)聯(lián)。
Video overlay feature where stylus stays in view throughout entire scan. Ensures direct
correlation between scan data and video of sample
&大于 4 英寸的樣品空間可確保大樣品的測(cè)量。
Up to 4” sample clearance for larger samples
& 多掃描程序具有生成標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)計(jì)報(bào)告，用以計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)偏差和平均值等結(jié)果。

Multi-scan program recipe capability standard with statistical report generating software
to calculate standard deviation and mean.
&軟件有 30 種分析功能,包括程控?cái)?shù)據(jù)過(guò)濾等，從而得到精確的粗糙度和波度結(jié)果。
30 Analytical functions built-in, including programmable cut-off filters for accurate
roughness and waviness calculations
& 低慣性感應(yīng)器技術(shù)的應(yīng)用可以把探針壓力調(diào)整到 1mg，從而使出眾的表面表征能力
得以實(shí)現(xiàn)。
Low inertia sensor technology to allow superior surface tracking with low stylus forces
down to 1 mg.
& 標(biāo)準(zhǔn)垂直測(cè)量范圍 524um(1 mm可選擇)
Standard 524 μm maximum vertical range (1mm optional)
• 數(shù)據(jù)采樣點(diǎn)可達(dá) 120,000/掃描
Acquire up to 120,000 data points per scan
& 3/8”厚的環(huán)境環(huán)境罩, 可消除靜電和電磁干擾。 

德國(guó)Bruker布魯克臺(tái)階儀