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D-300 臺(tái)階儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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北京中海遠(yuǎn)創(chuàng)材料科技有限公司,專業(yè)負(fù)責(zé)KLA(科磊半導(dǎo)體)微納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)(納米壓痕儀、SEM原位壓痕儀、拉伸儀等)、探針式臺(tái)階儀、形貌儀、三維光學(xué)輪廓儀等設(shè)備技術(shù)的銷售和技術(shù)應(yīng)用服務(wù)工作。

KLA公司是世界工藝控管與良率管理解決方案的提供商,與世界各地的客戶合作開發(fā)*的檢測(cè)和量測(cè)技術(shù),并且將這些技術(shù)致力于*材料、物理、微器件、半導(dǎo)體、LED 及其他相關(guān)微納研究和生產(chǎn)領(lǐng)域。憑借行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品組合和優(yōu)秀的工程師及科學(xué)家團(tuán)隊(duì),近 40 年來公司持續(xù)為客戶打造滿意的解決方案。

北京中海遠(yuǎn)創(chuàng)材料科技有限公司是KLA微納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)、SEM/FIB原位納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)、探針式臺(tái)階儀、三維光學(xué)輪廓儀等設(shè)備的渠道商,服務(wù)范圍遍及全國(guó)各地。微納力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)包括業(yè)內(nèi)聲譽(yù)很高應(yīng)用很廣泛的G200、iMicro、iNano型納米壓痕儀,T150型納米拉伸儀,以及常溫和高溫原位納米壓痕儀等等。KLA公司新研發(fā)的G200X型納米壓痕儀在G200型的基礎(chǔ)上又增加了一些新功能,使設(shè)備的性價(jià)比又提高了一個(gè)新臺(tái)階。輪廓儀系統(tǒng)包括*的Zeta系列,P系列、D系列等產(chǎn)品。

我公司擁有一支專業(yè)誠(chéng)信的技術(shù)、銷售、管理團(tuán)隊(duì),有著豐富的從業(yè)經(jīng)驗(yàn),自公司創(chuàng)立以來,在科研、生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域?yàn)榭蛻籼峁┝擞懈?jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。

我們始終秉承服務(wù)至上的宗旨,依托專業(yè)化的團(tuán)隊(duì)、全國(guó)性的營(yíng)銷網(wǎng)絡(luò)和有影響力的品牌,在不斷優(yōu)化服務(wù)質(zhì)量、擴(kuò)大市場(chǎng)輻射范圍的同時(shí),為客戶提供更全面的服務(wù)。


納米壓痕儀,臺(tái)階儀,輪廓儀,探針臺(tái),高速相機(jī)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 20萬-30萬
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件,電氣

Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測(cè)量。光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量,大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。

D-300 臺(tái)階儀

   探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量,與材料特性無關(guān)??烧{(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行測(cè)量。通過測(cè)量粗糙度和應(yīng)力,可以對(duì)工藝進(jìn)行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。





   二、 功能

   設(shè)備特點(diǎn)

  • 臺(tái)階高度:幾納米至1000μm

  • 低觸力:0.5至15mg

  • 視頻:500萬像素率彩色攝像頭

  • 梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

  • 圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

  • 緊湊尺寸:小占地面積的臺(tái)式探針式輪廓儀


   主要應(yīng)用

  • 臺(tái)階高度:2D臺(tái)階高度

  • 紋理:2D粗糙度和波紋度

  • 形式:2D翹曲和形狀

  • 應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

   應(yīng)用域


  • 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

  • SIMS:二次離子質(zhì)譜

  • LED:發(fā)光二管

  • 太陽能

  • MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)

  • 汽車

  • 醫(yī)療設(shè)備



   三、應(yīng)用案例

   臺(tái)階高度

  Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾個(gè)納米到1000μm的2D臺(tái)階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP 和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低觸力功能,可以測(cè)量如光刻膠的軟性材料。


   


   紋理:粗糙度和波紋度

  Alpha-Step D-300 測(cè)量 2D 紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測(cè)量值分離為粗糙度和波紋度的部分,并計(jì)算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。




   外形:翹曲和形狀

   Alpha-Step D-300 可以測(cè)量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對(duì)晶圓翹曲的測(cè)量,例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中,多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。Alpha-Step 還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。




   應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

  Alpha-Step D-300 能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置測(cè)量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計(jì)算應(yīng)力。



D-300 臺(tái)階儀



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